下载一种下排气单晶炉排气帽的技术资料

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本技术涉及单晶硅制备设备技术领域,且公开了一种下排气单晶炉排气帽,包括排气帽主体,开设在排气帽主体上部的气孔,设置在排气帽主体上部的顶盖,设置在排气帽主体内部的排气管道,以及设置在排气帽主体内部的连接组件,所述连接组件包括设置在排气帽主体内...
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