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本技术涉及单晶硅制备设备技术领域,且公开了一种下排气单晶炉排气帽,包括排气帽主体,开设在排气帽主体上部的气孔,设置在排气帽主体上部的顶盖,设置在排气帽主体内部的排气管道,以及设置在排气帽主体内部的连接组件,所述连接组件包括设置在排气帽主体内...该专利属于聊城市东昌府区财源机械配件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聊城市东昌府区财源机械配件有限公司授权不得商用。
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本技术涉及单晶硅制备设备技术领域,且公开了一种下排气单晶炉排气帽,包括排气帽主体,开设在排气帽主体上部的气孔,设置在排气帽主体上部的顶盖,设置在排气帽主体内部的排气管道,以及设置在排气帽主体内部的连接组件,所述连接组件包括设置在排气帽主体内...