一种下排气单晶炉排气帽制造技术

本技术涉及单晶硅制备设备技术领域，且公开了一种下排气单晶炉排气帽，包括排气帽主体，开设在排气帽主体上部的气孔，设置在排气帽主体上部的顶盖，设置在排气帽主体内部的排气管道，以及设置在排气帽主体内部的连接组件，所述连接组件包括设置在排气帽主体内部的固定机构，所述排气帽主体上部设置有拆装机构，所述连接杆活动贯穿与排气帽主体，所述卡接杆活动贯穿与排气帽主体与卡接槽卡接设置，所述弹簧一端与安装块固定连接，所述定位条滑动连接在定位孔的内壁，所述定位条与定位口适配。本技术解决了现有的排气帽由于套设在排气管的上端口，从而不够稳定，进而影响了使用的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制备设备，具体为一种下排气单晶炉排气帽。

技术介绍

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，目前，拉晶热系统中下排气的单晶炉出现漏硅时，将会造成较大的影响，如果高温度硅液体进入排气管道，会导致直接烫坏管道造成漏水，严重时可能造成单晶炉爆炸。

2、根据中国专利公共号cn 202369677 u所公开的一种下排气单晶炉排气帽，该排气帽套在单晶炉的排气管道的上端口，对单晶炉排气管道起保护作用，在单晶炉出现漏硅时所述排气帽的上顶盖可以起到缓冲高温度硅液的作用，并把硅液导向其它部位，而不从排气管道的上端口进入，避免了高温度的硅液烫坏单晶炉排气管道而引发重大安全事故的问题，但该排气帽由于套设在排气管的上端口，从而不够稳定，进而影响了使用的安全性。

3、为此，我们提出了一种下排气单晶炉排气帽来解决问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供了一种下排气单晶炉排气帽，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。

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【技术保护点】

1.一种下排气单晶炉排气帽，包括排气帽主体(1)；

2.根据权利要求1所述的一种下排气单晶炉排气帽，其特征在于：所述固定机构(31)包括开设在排气帽主体(1)底部的定位槽(312)，所述定位槽(312)内壁滑动连接有定位柱(313)，所述排气帽主体(1)内壁固定连接有限位环(311)，所述排气帽主体(1)内部开设有安装槽(314)，所述安装槽(314)内壁滑动连接有安装块(315)，所述安装块(315)一侧固定连接有卡接杆(316)，所述排气管道(5)外壁开设有卡接槽(317)，所述安装块(315)远离卡接杆(316)一侧固定连接有连接杆(318)，所述连接杆(318)外端通...

【技术特征摘要】

1.一种下排气单晶炉排气帽，包括排气帽主体(1)；

2.根据权利要求1所述的一种下排气单晶炉排气帽，其特征在于：所述固定机构(31)包括开设在排气帽主体(1)底部的定位槽(312)，所述定位槽(312)内壁滑动连接有定位柱(313)，所述排气帽主体(1)内壁固定连接有限位环(311)，所述排气帽主体(1)内部开设有安装槽(314)，所述安装槽(314)内壁滑动连接有安装块(315)，所述安装块(315)一侧固定连接有卡接杆(316)，所述排气管道(5)外壁开设有卡接槽(317)，所述安装块(315)远离卡接杆(316)一侧固定连接有连接杆(318)，所述连接杆(318)外端通过轴承转动连接有拉杆(319)，所述拉杆(319)内侧固定连接有定位条(3110)，所述排气帽主体(1)外壁分别开设有定位孔(3111)与定位口(3112)，所述安装槽(314)内壁固定连接有弹簧(3113)。

3.根据权利要求1所述的一种下排气单晶炉排气帽，其特征在于：所述拆装机构(32)包括固定安装在顶盖(2)底部的密封环(326)，所述排气帽主体(1)上部开设有矩形槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜群超，李志华，
申请(专利权)人：聊城市东昌府区财源机械配件有限公司，
类型：新型
国别省市：