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本发明提供了一种晶圆AOI检测方法及系统，该方法包括：获取晶圆图像；将晶圆图像划分为若干个子区域并基于欧式距离算法计算每个子区域内裸片的色差距离和；获取每个子区域的灰度量；基于每个子区域的灰度量对晶圆图像重新划分，获取若干个连续的图像范围；...
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