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本发明公开了一种用于等离子体的防扩散污染装置，包括基座以及可拆卸安装在基座上的盖板；所述基座开设有供离子源激发射入的中空腔，所述盖板开设有与所述中空腔连通的连通孔；所述基座位于所述中空腔的一侧可拆卸安装有抽吸管，所述抽吸管的腔室与所述中空腔...
该专利属于中国兵器科学研究院宁波分院所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器科学研究院宁波分院授权不得商用。

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