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本发明公开一种喷雾清洁组件、喷雾清洁机构及芯片分选生产线体，喷雾清洁机构包括喷头、第一清洁件和喷气开关；喷头内部形成有间隔开的液体腔和气体腔，喷头的前端形成有端口，端口通过出液孔与液体腔连通，端口通过喷气间隙与气体腔连通，喷气间隙靠近出液孔...
该专利属于深圳市希芯智能设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市希芯智能设备有限公司授权不得商用。

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