下载一种高纯度氮化硅陶瓷材料的制备方法的技术资料

文档序号:42466881

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本发明公开了一种高纯度氮化硅陶瓷材料的制备方法,具体包括以下步骤:将氮化硅和烧结助剂与分散剂混合研磨,并进行干燥装模烧结;所述烧结方法为:先升温至1800‑2000℃保持0.5‑1.5h后再在氮气和甲烷气氛中降温至1600‑1800℃保持1...
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