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本发明涉及一种多晶硅棒的制造方法，它是通过向反应器中连续通入由氢气和含硅气体构成的混合气体作为原料气，在所述反应器中所述原料气发生反应，由此制造多晶硅棒的方法，其包括通过调节作为原料气的所述氢气的进气量Ｍ，和／或调节作为原料气的所述含硅气体...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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