下载反射式DOE衍射元件及激光加工设备的技术资料

文档序号:42461627

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本发明属于激光加工领域,涉及一种反射式DOE衍射元件及激光加工设备,该激光加工设备包括激光器、扩束镜、聚焦镜以及如前所记载的反射式DOE衍射元件;扩束镜、反射式DOE衍射元件以及聚焦镜自前而后依次设置在激光器的出射光路上。本发明提供了一种制...
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