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本申请实施例提供了一种掩膜图形修正方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，涉及计算机技术领域。该方法通过对所述原始掩膜图形进行第一修正处理，得到初始修正图形，基于所述初始修正图形进行第二修正处理，得到图形误差小于预设阈值的目标修正图形；其...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。

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