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本技术是一种用于碳化硅感应炉的镀层石英管，通过改变传统的石英管材质及内侧镀层的方式，在改善径向温度梯度的同时可降低生产能耗，节约生产成本。包括不透明石英管体和镀在不透明石英管体内壁上的镜面银膜镀层。可使石墨感应发热产生的热量反射回热场内部，...
该专利属于连科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连科半导体有限公司授权不得商用。

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