下载一种单晶硅籽晶的清洗方法的技术资料

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本发明提供了一种单晶硅籽晶的清洗方法。单晶硅籽晶的清洗方法包括:对所述单晶硅籽晶依次进行酸洗、漂洗和超声清洗;其中,所述酸洗采用的酸为硝酸、氢氟酸和乙酸的混合酸,氢氟酸:乙酸:硝酸的质量比例为1:(2.5‑3.5):(6‑12)。本发明的清...
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