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本申请实施例公开了一种晶圆缺陷定位方法、装置、终端设备和存储介质，上述方法包括：获取在半导体晶圆检测系统中对晶圆执行晶圆对准得到的多个目标特征点的目标位置；获取晶圆随着半导体晶圆检测系统中的运动台运动得到的晶圆图像，并对晶圆图像进行缺陷检测...
该专利属于深圳市新凯来工业机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市新凯来工业机器有限公司授权不得商用。

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