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本发明提供一种光刻加密方法，包括以下步骤：S1，生成设计图文和至少一个加密图文；S2，在基片的表面设置光刻胶；S3，在所述光刻胶上进行光刻，将所述设计图文和所述加密图文在所述光刻胶上同时光刻或者依次光刻，得到目标图文结构，所述加密图文设于所...
该专利属于苏州苏大维格科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏大维格科技集团股份有限公司授权不得商用。

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