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本申请属于半导体制造技术领域，提供一种定位补偿方法，通过极坐标运动平台调整预测样品的位置，使预测样品的凹槽标记与极坐标系极轴重合，根据极轴和极坐标系运动平台形成第一坐标系，获取预测样品的第二坐标系并计算得到两者间的坐标转换矩阵，根据坐标转换...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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