下载一种多晶硅生产还原智能控制方法及多晶硅的技术资料

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一种多晶硅生产还原智能控制方法及多晶硅,其包括:将得到的SiHCl3加入还原炉中进行氢还原反应,生成沉淀于硅芯上的多晶硅,形成多晶硅棒;在进行氢化还原的过程中,通过观察窗口拍摄连续图像,基于连续图像获取多晶硅沉淀参数,基于所述沉淀参数控制物...
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