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一种半导体生产系统，包括：第一腔室，其被配置为被设置为第一设置值并处理晶片；第二腔室，其被配置为被设置为第二设置值并处理在第一腔室中处理的晶片；和故障检测和分类(FDC建模模块)，其被配置为：训练第一FDC机器学习模型，以基于第一设置值和关...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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