下载一种半导体基底的玻璃基板旋转涂胶方法的技术资料

文档序号:42444832

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本发明涉及工件表面流体涂布技术领域,具体涉及一种半导体基底的玻璃基板旋转涂胶方法,通过获取每种转速下的涂胶对照样本集;对每种转速下涂胶对照样本的局部像素分布差异,确定每个涂胶对照样本的有效对比特征系数;同时将每个涂胶对照样本划分为同心的各个...
该专利属于长沙韶光芯材科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙韶光芯材科技有限公司授权不得商用。

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