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本技术涉及一种载片装置及测试设备。该载片装置包括：吸盘；制冷盘，与吸盘相适配；及多个调节件，吸盘与制冷盘通过各个调节件可调节连接；其中，吸盘背离制冷盘的一侧具有用于吸附工件的承载面，任一调节件可独立调节吸盘与制冷盘对应连接位置的间距，以调节...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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