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一种配置于微影系统的光罩取放装置内的过滤装置，微影系统至少包括：光源装置用以提供光源；光罩取放装置配置有复数个光罩；光罩承载台配置有固定器用以固定光罩；基板承载台配置有固定器用以固定基板；透镜组将光源装置的光源聚焦并使光罩承载台上的光罩接受...
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