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本发明公开了一种晶圆支撑装置、机构及晶圆加工设备，其中晶圆支撑装置包括：加热盘，设有上下贯穿的通孔，通孔包括设置于加热盘上部的第一接触部；支撑柱，穿设于通孔内且可在通孔内上下移动，支撑柱的上部设置第二接触部，所述第一接触部可支撑所述第二接触...
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