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一种制作全息双闪耀光栅的方法技术
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文档序号:4242406
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本发明公开了一种制作全息双闪耀光栅的方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)在光栅基片上涂布光刻胶;(2)进行第一次干涉光刻,制作符合A闪耀角要求的光刻胶光栅掩模;(3)对于A光栅区的光栅掩模,通过倾斜Ar离子束扫描刻蚀,形成三角形的闪耀光栅...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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