温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种监控装置，用于监控排气管路的漏液状况，所述排气管路的第一端与输液管路连接，包括排气阀、侦测器、第一阀体、报警装置和控制系统，其中，所述排气阀连接在所述排气管路的第二端；所述侦测器用于侦测所述排气阀是否漏液并发送漏液信号至所述报...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。