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一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置及检测方法制造方法及图纸
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下载一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置及检测方法的技术资料
文档序号:42421989
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本发明提供一种半导体激光器芯片远场发散角的检测装置及检测方法,装置包括载物台、舵机、光电探测器、光电探测器支架。载物台用于承载和固定被测半导体激光器芯片及为半导体激光器芯片实现供电、散热功能的PCB板;舵机的转轴与载物台连接,带动载物台实现...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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