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本申请提供了一种X射线焦斑的测量装置，包括：X射线光管及包括发射X射线的焦斑；多轴位移台设有贯穿孔，用于沿垂直于X射线光管与面阵列探测器之间的轴向方向，将贯穿孔从第一位置移动至第二位置，其中，贯穿孔处于第一位置时，X射线光管的中心、贯穿孔及...
该专利属于深圳市埃芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市埃芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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