一种X射线焦斑的测量装置制造方法及图纸

本申请提供了一种X射线焦斑的测量装置，包括：X射线光管及包括发射X射线的焦斑；多轴位移台设有贯穿孔，用于沿垂直于X射线光管与面阵列探测器之间的轴向方向，将贯穿孔从第一位置移动至第二位置，其中，贯穿孔处于第一位置时，X射线光管的中心、贯穿孔及面阵列探测器的中心处于同一水平线；面阵列探测器，用于将焦斑发射的X射线通过贯穿孔在面阵列探测器上分别形成第一图像和与第二图像；数据处理器，与面阵列探测器通信连接，用于基于第一图像、第二图像、贯穿孔的直径及第一位置与第二位置之间的移动距离进行数据处理，确定X射线光管的焦斑的长度、宽度及焦斑在X射线光管的位置，降低了焦斑尺寸的测量误差，提高了焦斑尺寸的准确度。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于x射线检测，尤其涉及一种x射线焦斑的测量装置。

技术介绍

1、x射线光管是x射线检测系统中的重要部件，是产生x射线的元件，其作用是将电能转化为x射线。在x射线成像系统中，对x射线成像质量影响最大的因素之一就是x射线光管的焦斑(也称为焦点)尺寸和焦斑位置。

2、目前测量x射线光管的焦斑尺寸和焦斑位置的测量装置是将金属的贯穿孔沿x射线光管与探测器之间的轴向连线进行移动，或者预先估计测量焦斑处于x射线光管的位置，再采用数据处理器计算x射线光管的焦斑尺寸，造成焦斑尺寸存在比较大的误差，降低了焦斑尺寸的准确度，提高了测量焦斑位置的复杂度。

3、现有技术x射线焦斑的测量装置存在降低了焦斑尺寸的准确度，提高了测量焦斑位置的复杂度的问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种x射线焦斑的测量装置，可以解决x射线焦斑的测量装置存在降低了焦斑尺寸的准确度，提高了测量焦斑位置的复杂度的问题。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种x射线焦斑的测量装置，测量装置包括x射线光管、多轴位移本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种X射线焦斑的测量装置，其特征在于，测量装置包括X射线光管、多轴位移台、面阵列探测器及数据处理器；

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述多轴位移台包括水平横向粗调滑台、水平轴向粗调滑台、纵向高度粗调滑台及水平横向精密调节滑台，所述精密调节滑台的调节精度的取值范围为小于或者等于10μm。

【技术特征摘要】

1.一种x射线焦斑的测量装置，其特征在于，测量装置包括x射线光管、多轴位移台、面阵列探测器及数据处理器；

2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：深圳市埃芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：