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本技术提供了一种MEMS麦克风的封装工具，其包括设置于MEMS麦克风送料轨道上方的盖板、设置于MEMS麦克风送料轨道下方且与所述盖板相对的底板、与所述盖板相连接的震动装置和与所述底板相连接的抽气装置，所述底板上设置有多个通孔，且所述底板底部...
该专利属于广东气派科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东气派科技有限公司授权不得商用。

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