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本技术提供了一种半导体用液体硅源分配阀门箱，阀门箱内设置有常出口管路，液体源管路的输入端连接阀门箱的进液口，其输出端连接至常出口管路的输入端，用于输送液体硅源，液体源管路设置有用于控制所述液体硅源在所述液体源管路内输送的第一阀门；第一进气管...
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