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一种新型封装结构的硅探测器元器件及其制备方法技术
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文档序号:42408122
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本发明提供了一种新型封装结构的硅探测器元器件及其制备方法,元器件包括:设置在陶瓷衬底的工作区上的硅晶圆片、贴片、键合金丝、两级电制冷片和若干个插针管脚;所述硅晶圆片、贴片和焊盘附着在所述陶瓷衬底的正面,所述若干个插针管脚分布在所述陶瓷衬底的...
该专利属于西北核技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西北核技术研究所授权不得商用。
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