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本发明公开了一种真空测量方法、系统、装置、电子设备及存储介质，本发明涉及真空测试技术领域。本发明实施例的真空测量方法，分多次以不同的气体通入量的测试气体通入目标真空容器中，获取每次通入测试气体的测试气体信号强度和目标真空容器的测试电离规示数...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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