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本技术提供一种定位缓存输送机构，包括抓取层、放置层和缓存层，所述抓取层用于输送承载待加工晶圆的晶圆盒，所述晶圆盒底部设有托盘，所述放置层设置在所述抓取层的下方，用于输送所述托盘，所述托盘用于放置承载已加工晶圆的晶圆盒，所述缓存层设置在所述放...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

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