下载一种双介质DBR型垂直腔面发射激光器及其制备方法的技术资料

文档序号:42405186

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本发明实施例涉及一种双介质分布式布拉格反射器(DBR)型垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制备方法。双介质DBR型垂直腔面发射激光器自下而上包括:导电热沉层、第一金属电极层、第一介质DBR层、第一透明导电层、第一电流窗口、有源层、第二电流...
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