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本发明公开了一种基于相位信息的晶圆缺陷检测方法，属于晶圆检测技术领域，该方法基于共光路干涉结构的晶圆缺陷检测系统实现，该系统中的照明组件发出光束经过晶圆样品和显微成像组件而得到放大的晶圆样品反射光，光栅分束干涉组件将反射光进行衍射分束并发生...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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