温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种具有金属原子分离功能的真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括：真空镀膜腔室、真空泵和杂质分离装置，真空泵直接通过杂质分离装置与真空镀膜腔室连通；杂质分离装置用于去除真空镀膜腔室进入真空泵内的气体中所夹带的金属原子。本技术实施例的真空...
该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。