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本公开提供的一种晶圆扫描固定治具和超声波扫描平台，涉及半导体检测技术领域。该晶圆扫描固定治具包括载台和抽气装置，所述载台包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽用于安装待测晶圆；所述第二表面设有真空槽，所...
该专利属于甬矽半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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