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本技术涉及一种射频等离子体球化设备抽真空机组，涉及抽真空装置的技术领域，包括底架、真空泵组件和水环泵组件，水环泵组件与真空泵组件之间设置有连接组件，底架上设置有储液罐；底架上设置有冷却水进管和冷却水出管，多根冷却水进管连接有总进水管，冷却水...
该专利属于苏州釜昕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州釜昕科技有限公司授权不得商用。

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