【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抽真空装置的，尤其是涉及一种射频等离子体球化设备抽真空机组。
技术介绍
1、真空机组是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，其广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空冶金、钢水真空处理及真空热处理等方面。
2、目前较为常用的罗茨水环真空机组、罗茨滑阀真空机组均为分散设置，在将各机组组合在一起时，需要的连接方式较为繁琐，且导致机组的整体占地面积较大，在组装、使用过程中，对场地的空间要求较为严格，为使用带来了不便。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种射频等离子体球化设备抽真空机组，其具有节省空间、连接方便的优点。
2、本技术的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种射频等离子体球化设备抽真空机组，包括底架，所述底架两端分别设置有真空泵组件和水环泵组件，所述水环泵组件与真空泵组件之间设置有连接组件，所述底架上设置有与水环泵组件连接的储液罐；
4、所述真空泵组件、水...
【技术保护点】
1.一种射频等离子体球化设备抽真空机组，其特征在于：包括底架(1)，所述底架(1)两端分别设置有真空泵组件(2)和水环泵组件(3)，所述水环泵组件(3)与真空泵组件(2)之间设置有连接组件(4)，所述底架(1)上设置有与水环泵组件(3)连接的储液罐(5)；
2.根据权利要求1所述的一种射频等离子体球化设备抽真空机组，其特征在于：所述真空泵组件(2)包括滑阀真空泵(21)、用于驱动滑阀真空泵(21)的滑阀真空泵电机(211)，所述滑阀真空泵电机(211)与滑阀真空泵(21)之间连接有传动带(212)，所述传动带(212)外罩设有防尘罩(213)；
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