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微机电压力传感器制造技术
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文档序号:42389905
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本发明涉及一种微机电压力传感器(100),所述微机电压力传感器具有壳体单元(101)、基座结构(103)、压力传感器元件(105)和偏移测量元件(107),其中,通过所述壳体单元(101)定义容纳空间(109),其中,所述基座结构(103)...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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