【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电压力传感器和一种用于校正微机电压力传感器的压力值的方法。
技术介绍
1、借助保护介质对压力传感器进行封装，用于保护mems膜片免受液体和颗粒的影响。然而，所使用的保护介质的自重可能导致传感器的测量偏差。
技术实现思路
1、因此，任务在于，提供一种改进的微机电压力传感器和一种改进的用于校正微机电压力传感器的测量值的方法。
2、该任务通过根据本专利技术的压力传感器和方法来解决。下面示出有利的构型。
3、根据一个方面，提供一种微机电压力传感器，该微机电压力传感器具有壳体单元、基座结构、压力传感器元件和偏移测量元件，其中，通过壳体单元定义容纳空间，其中，基座结构、压力传感器元件和偏移测量元件布置在容纳空间中，其中，容纳空间填充有覆盖压力传感器元件的保护介质，其中，压力传感器元件以相对于基座结构能够偏移的方式布置，其中，偏移测量元件设立为用于，确定压力传感器元件相对于基座结构的相对偏移。
4、由此可以实现如下技术优点：可以提供一种改进的微机电压力传感器。该压力传感器包括壳体单元，在该壳体单元中布置有基座结构，该基座结构具有压力传感器元件和偏移测量元件。对此，壳体单元定义容纳空间。容纳空间填充有保护介质，该保护介质覆盖压力传感器元件并且因此保护该压力传感器元件免受环境影响。然而，该保护介质具有与相应的保护介质的量和构型有关的质量。基于保护介质的质量，视压力传感器的位置而定地，该保护介质施加压力到压力传感器元件上。保护介质的该压力可能歪
5、根据一种实施方式，压力传感器元件经由悬挂元件与基座结构弹动地连接。
6、由此可以实现如下技术优点：经由悬挂元件，压力传感器元件以被锁固(gesichert)并且相对于基座结构仍然能够偏移的方式布置在壳体单元的容纳空间中。
7、根据一种实施方式，该传感器元件布置在脱耦板上。
8、由此可以实现如下技术优点：经由所述脱耦板，该压力传感器元件以被锁固的方式布置在容纳空间中。因此，压力传感器元件以被锁固的方式固定在脱耦板上。但是，该脱耦板在很大程度上与基座结构脱耦，使得振动或应力不能够从基座结构传递到脱耦板上。
9、根据一种实施方式，脱耦板平行于基座结构的底面定向并且与底面间隔开。
10、由此可以实现如下技术优点：通过脱耦板相对于基座结构的底面的平行布置，可以求取出压力传感器元件相对于基座结构的精确偏移。在压力传感器元件相对于基座结构偏移的情况下，通过将压力传感器元件固定在脱耦板上，同样实现脱耦板相对于基座结构的偏移。
11、根据一种实施方式，在脱耦板与底面之间的中间空间填充有保护介质。
12、由此可以实现如下技术优点：通过借助保护介质填充在脱耦板与基座结构的底面之间的中间空间，能够基于压力传感器元件相对于基座结构的偏移可靠且能重复地确定通过保护介质施加到压力传感器元件上的压力。由于中间空间完全被保护介质填充并且不包括空气区域，因此，施加到压力传感器元件上的相同压力导致相同的偏移值。这能够精确地确定通过保护介质施加到压力传感器元件上的压力值。
13、根据一种实施方式，脱耦板经由悬挂元件与基座结构的壁元件一件式地弹动地连接。
14、由此可以实现如下技术优点：该压力传感器元件经由脱耦板以被锁固的方式能够偏移地与基座结构连接。
15、根据一种实施方式，偏移测量元件包括至少一个应变计，该应变计构造在悬挂元件上。
16、由此可以实现如下技术优点：经由构造在悬挂元件上的应变计，能够精确且稳健地测量压力传感器元件相对于基座结构的偏移。在压力传感器元件相对于基座结构偏移的情况下(在该偏移的情况下，同样发生脱耦板相对于基座结构的偏移)，引起悬挂元件的变形，脱耦板经由该悬挂元件弹动地连接在基座结构上。除此之外，由于悬挂元件的变形，引起应变计的变形，由此能够测量悬挂元件的变形并且与此相关地能够测量脱耦板和固定在该脱耦板上的压力传感器元件相对于基座结构的偏移。因此，应变计允许在技术上简单地且稳健地测量压力传感器元件相对于基座结构的偏移。
17、根据一种实施方式，应变计构造为电容式应变计。
18、由此可以实现如下技术优点：能够精确且稳健地测量压力传感器元件相对于基座结构的偏移。
19、根据一种实施方式，应变计构造为电阻式应变计。
20、由此可以实现如下技术优点：能够精确且稳健地测量压力传感器元件相对于基座结构的偏移。
21、根据一种实施方式，保护介质由凝胶材料制成。
22、由此可以实现如下技术优点：可以提供一种耐抗的保护介质。
23、根据一种实施方式，压力传感器元件构造为电容式压力传感器元件。
24、由此可以实现如下技术优点：可以提供一种精确且稳健的压力传感器元件。
25、根据另一方面，提供一种用于校正根据上述实施方式中任一种所述的微机电压力传感器的压力测量值的方法，所述方法包括：
26、记录压力传感器元件的至少一个压力测量值；
27、记录偏移测量元件的至少一个偏移值，其中，该偏移值描述压力传感器元件相对于基座结构的偏移；
28、基于偏移值求取通过保护介质作用到压力传感器元件上的压力值；
29、以求取出的通过保护介质作用到压力传感器元件上的压力值校正通过压力传感器元件测量出的压力测量值；和
30、输出经校正的压力测量值。
31、由此可以实现如下技术优点：可以提供一种改进的用于校正微机电压力传感器的压力测量值的方法。对此，首先记录压力传感器元件的压力测量值。此外，记录偏移测量元件的如下偏移值：所述偏移值描述压力传感器元件相对于基座结构的相对偏移。在此基础上，求取通过保护介质施加到压力传感器元件的压力值。然后，根据通过保护介质施加到压力传感器元件上的相应的压力值校正压力传感器元件的压力测量值，并且提供经相应校正的压力测量值。这能够在通过覆盖压力传感器元件的保护介质施加到压力传感器元件上的压力方面精确地本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.微机电压力传感器(100)，所述微机电压力传感器具有壳体单元(101)、基座结构(103)、压力传感器元件(105)和偏移测量元件(107)，其中，通过所述壳体单元(101)定义容纳空间(109)，其中，所述基座结构(103)、所述压力传感器元件(105)和所述偏移测量元件(107)布置在所述容纳空间(109)中，其中，所述容纳空间(109)填充有覆盖所述压力传感器元件(105)的保护介质(111)，其中，所述压力传感器元件(105)以相对于所述基座结构(103)能够偏移的方式布置，其中，所述偏移测量元件(107)设立为用于，确定所述压力传感器元件(105)相对于所述基座结构(103)的相对偏移。
2.根据权利要求1所述的压力传感器(100)，其中，所述压力传感器元件(105)经由悬挂元件(113)与所述基座结构(103)弹动地连接。
3.根据权利要求1或者2所述的压力传感器(100)，其中，所述压力传感器元件(105)布置在脱耦板(115)上。
4.根据权利要求3所述的压力传感器(100)，其中，所述脱耦板(115)平行于所述基座结构(1
5.根据权利要求4所述的压力传感器(100)，其中，在所述脱耦板(115)与所述底面(117)之间的中间空间(119)填充有所述保护介质(111)。
6.根据上述权利要求2至5中任一项所述的压力传感器(100)，其中，所述脱耦板(115)经由所述悬挂元件(113)与所述基座结构(103)的壁元件(121)一件式地弹动地连接。
7.根据上述权利要求2至6中任一项所述的压力传感器(100)，其中，所述偏移测量元件(107)包括至少一个应变计(123)，所述应变计构造在所述悬挂元件(113)上。
8.根据权利要求7所述的压力传感器(100)，其中，所述应变计(123)构造为电容式应变计(123)。
9.根据权利要求7所述的压力传感器(100)，其中，所述应变计(123)构造为电阻式应变计(123)。
10.根据上述权利要求中任一项所述的压力传感器(100)，其中，所述保护介质(111)由凝胶材料制成。
11.根据上述权利要求中任一项所述的压力传感器(100)，其中，所述压力传感器元件(105)构造为电容式压力传感器元件(105)。
12.用于校正根据上述权利要求1至11中任一项所述的微机电压力传感器(100)的压力测量值的方法(200)，所述方法包括：
13.计算单元(127)，所述计算单元设立为用于实施根据权利要求12所述的用于校正微机电压力传感器(100)的压力测量值的方法(200)。
14.计算机程序产品(300)，所述计算机程序产品包括指令，所述指令在通过数据处理单元实施所述程序时促使所述数据处理单元实施根据权利要求12所述的用于校正微机电压力传感器(100)的压力测量值的方法(200)。
...【技术特征摘要】
1.微机电压力传感器(100)，所述微机电压力传感器具有壳体单元(101)、基座结构(103)、压力传感器元件(105)和偏移测量元件(107)，其中，通过所述壳体单元(101)定义容纳空间(109)，其中，所述基座结构(103)、所述压力传感器元件(105)和所述偏移测量元件(107)布置在所述容纳空间(109)中，其中，所述容纳空间(109)填充有覆盖所述压力传感器元件(105)的保护介质(111)，其中，所述压力传感器元件(105)以相对于所述基座结构(103)能够偏移的方式布置，其中，所述偏移测量元件(107)设立为用于，确定所述压力传感器元件(105)相对于所述基座结构(103)的相对偏移。
2.根据权利要求1所述的压力传感器(100)，其中，所述压力传感器元件(105)经由悬挂元件(113)与所述基座结构(103)弹动地连接。
3.根据权利要求1或者2所述的压力传感器(100)，其中，所述压力传感器元件(105)布置在脱耦板(115)上。
4.根据权利要求3所述的压力传感器(100)，其中，所述脱耦板(115)平行于所述基座结构(103)的底面(117)定向并且与所述底面(117)间隔开。
5.根据权利要求4所述的压力传感器(100)，其中，在所述脱耦板(115)与所述底面(117)之间的中间空间(119)填充有所述保护介质(111)。
6.根据上述权利要求2至5中任一项所述的压力传感器(100)，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·伯廷格，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：
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