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本发明公开了一种纳米压印模具及纳米压印的方法，通过采用具有孔洞的硬质基板结合覆盖孔洞的软质基板，形成若干独立腔室，根据压印中气泡产生位置，通过改变注入独立腔室内的气体量，进行局部或全面的压力调节，进而排出气泡，提高压印精度。同时，通过对不同...
该专利属于苏州新维度微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新维度微纳科技有限公司授权不得商用。

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