下载一种CVD金刚石生长载台的技术资料

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本技术涉及CVD金刚石生产技术领域。具体公开了一种CVD金刚石生长载台,包括反应腔体以及载物台,所述反应腔体上连通有进气管道,所述载物台设置在反应腔体的内部,所述反应腔体上设置有用于升降载物台台的升降组件,所述升降组件包括丝杠以及驱动电机,...
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