下载一种基于多项目晶圆一次切割的切割设计方法的技术资料

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本发明公开了一种基于多项目晶圆一次切割的切割设计方法,包括版图设计步骤:以预设目标,设计多项目晶圆的布局结构,布局结构包括多组单次曝光区域,每组单次曝光区域均包括排列布局相同的多款待切割芯片、且待切割芯片之间具有符合热影响宽度的切割道;对于...
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