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本发明涉及一种用于半导体晶片的高纯度氢氟酸检测方法，属于氢氟酸检测技术领域，提供一种用于半导体晶片的高纯度氢氟酸检测方法，该方法包含在聚乙烯试剂瓶中加入5mL纯净水，通入氮气后，再加入1.5g样品并溶解，将样品试剂瓶密封后送入‑5℃冰柜中冷...
该专利属于江苏捷创新材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏捷创新材料有限责任公司授权不得商用。

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