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用于量子芯片的片上滤波器及其制备方法、量子芯片技术
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文档序号:42384325
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本发明提供了一种用于量子芯片的片上滤波器及其制备方法、量子芯片,涉及量子技术领域。量子芯片的片上滤波器包括:基片;第一导电层,包括在基片上设置的第一微带线电极;第一绝缘层,设置在第一导电层上;以及第二导电层,设置在第一绝缘层上,包括:第二微...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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