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本申请提供一种高效去除杂质的研磨垫修整器改进装置，包括套设在研磨垫修整器的修整头外围的环状夹持器，该环状夹持器上固定一环状多晶硅。在研磨垫修整器对研磨垫的修整作业完成后，通过环状多晶硅高效吸附研磨垫上残留的杂质，从而使研磨垫时刻保持最佳清洁...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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