下载一种光掩模去胶装置及方法的技术资料

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本发明公开了一种光掩模去胶装置及方法,包括:工作箱,内部限定出工作腔;两个夹爪气缸,相对设于工作腔的左右两侧;旋转组件,用于驱动两个夹爪气缸同步转动;喷液组件,包括喷液盒、输液装置、喷头,喷液盒转动设于两个夹爪气缸之间的上侧,喷液盒的转动轴...
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