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本发明涉及应力检测技术领域，尤其涉及一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法，包括光束发射模块，用于向待测的样品提供平行光束；偏振控制模块，用于对入射的平行光束进行偏振设定和经样品反射的平行光束进行相位变化检测；图像采集模块，用于采集样...
该专利属于贵州金哲仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州金哲仪器有限公司授权不得商用。

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