一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及应力检测技术领域，尤其涉及一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法，包括光束发射模块，用于向待测的样品提供平行光束；偏振控制模块，用于对入射的平行光束进行偏振设定和经样品反射的平行光束进行相位变化检测；图像采集模块，用于采集样品反射后偏振平行光束的光学图像，覆盖样品的大面积；数据处理模块，将采集到的光学图像进行数据处理，对应获得待测的样品的大面积应力数据。通过成像椭偏传感技术，对金属样品表面或者光学元件表面的反射光偏振状态进行实时捕捉与图像记录，随后运用先进的数据处理算法，直接从所采集的光学图像中快速提取出样品的内应力分布信息，显著提升了检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及应力检测，尤其涉及一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统及方法。

技术介绍

1、在材料表面处理或者检测技术中，例如在光学元件制造业，为了改善光学元件(如镜组)的光学性能，经常需要在其基材表面镀覆一层或多层薄膜，这些薄膜可能是金属或非金属介质。然而，在镀膜过程中，由于薄膜与基材间的晶格失配、薄膜自身的热膨胀系数差异以及其他机械性能的不同，往往会在薄膜内部产生应力。这种应力会改变薄膜的光学性能，影响光学元件的整体质量和使用效果，比如导致光学像差增加、透过率降低、反射率波动等问题，因此，控制和减小薄膜应力对于提高光学元件的品质至关重要。

2、当前的传统技术在对待测大面积表面(如光学元件表面或光滑金属表面)应力的检测过程中，大多采用扫描或逐点测量的方式，但这些方法耗时较长且难以迅速、全面地获取大面积样品的应力分布全图。鉴于此，现有技术面临的挑战是如何高效、准确地测定光学元件表面或光滑金属表面的应力，特别是对于样品的大面积测量。

技术实现思路

1、鉴于上述现有基于成像椭偏传感技术的应力检测方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述光束发射模块(100)包括用于发射点光源的灯具(101)，以及用于将点光源转化为平行光束的透镜(102)。

3.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述偏振控制模块(200)包括用于对平行光束进行偏振处理的起偏器(201)，该起偏器(201)方位角设置在90°。

4.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述偏振控制模块(200)还包括用于对经样品(50...

【技术特征摘要】

1.一种基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述光束发射模块(100)包括用于发射点光源的灯具(101)，以及用于将点光源转化为平行光束的透镜(102)。

3.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述偏振控制模块(200)包括用于对平行光束进行偏振处理的起偏器(201)，该起偏器(201)方位角设置在90°。

4.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述偏振控制模块(200)还包括用于对经样品(500)反射后的偏振平行光束进行相位变化解析的检偏器(202)，该检偏器(202)方位角设置在135°。

5.根据权利要求1所述的基于成像椭偏传感技术的应力检测系统，其特征在于：所述图像采集模块(300)内置有针对低频的应力变化进行检测的低通滤波算法，对于常见的应力变化信号，其频率通常小于1hz，针对此频段处的应力变化，我们可通过提高采样频率，设置采样频率为10hz，同时使用截断频率为0.2hz的低通滤波算法获得低于0.2hz频率处的应力响应信号；对待测的样品要求表面光洁度ra<0.04um，待测的样品为光学元件或表面光滑的金属。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘巍，韩思哲，周庭波，牛宇，张思宇，
申请(专利权)人：贵州金哲仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：