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本公开涉及一种晶体管,包括基底,基底中设有栅极沟槽;栅介质层,覆盖栅极沟槽的底部和侧壁,包括第一部分和第二部分;第一部分位于栅极沟槽的底部及下部;第二部分位于栅极沟槽的上部,且与第一部分相连接,第二部分的厚度大于第一部分的厚度;栅极导电层,...该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。
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本公开涉及一种晶体管,包括基底,基底中设有栅极沟槽;栅介质层,覆盖栅极沟槽的底部和侧壁,包括第一部分和第二部分;第一部分位于栅极沟槽的底部及下部;第二部分位于栅极沟槽的上部,且与第一部分相连接,第二部分的厚度大于第一部分的厚度;栅极导电层,...