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具备：位置关系检测单元，检测由拾取侧登记单元登记的目标标记位置与由键合侧登记单元登记的目标标记位置的位置关系；拾取侧偏移量检测单元，检测由拾取侧拍摄单元拍摄到的目标标记位置与由拾取侧登记单元登记的目标标记位置的偏移量；以及位置调整单元，基于...
该专利属于佳能机械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能机械株式会社授权不得商用。

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