下载光学反射元件的技术资料

文档序号:42380578

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本发明的光学反射元件具备:可动部(30);反射面,配置在可动部(30);框部(16、26),在俯视下,在可动部(30)的外侧具有给定的间隙地配置,与可动部(30)连接;梁状的扭转部(14、24),沿着转动轴(R0)延伸;连接部(15、25)...
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